Zestaw części do mikroskopu elektronowego
Źródło elektronów: Jest to katoda, która uwalnia wolne elektrony, a anoda w kształcie pierścienia przyspiesza elektrony. Różnica napięcia między katodą a anodą musi być bardzo duża, zwykle od kilku tysięcy do trzech milionów woltów.
Elektrony: używane do skupiania elektronów. Zwykle stosuje się soczewki magnetyczne, a czasami stosuje się również soczewki elektrostatyczne. Funkcja soczewki elektronowej jest taka sama jak soczewki optycznej w mikroskopie optycznym. Ostrość soczewki optycznej jest stała, ale ostrość soczewki elektronicznej można regulować, więc mikroskop elektronowy nie ma ruchomego systemu soczewek, takiego jak mikroskop optyczny.
Urządzenie próżniowe: Urządzenie próżniowe służy do zapewnienia stanu próżni wewnątrz mikroskopu, dzięki czemu elektrony nie będą absorbowane ani odchylane na swojej drodze.
Uchwyt próbki: Próbki można stabilnie umieścić na uchwycie próbki. Ponadto często istnieją urządzenia, które można wykorzystać do zmiany próbki (takie jak przesuwanie, obracanie, ogrzewanie, chłodzenie, wydłużanie itp.).
Detektor: Sygnał lub sygnał wtórny używany do zbierania elektronów. Projekcję próbki można uzyskać bezpośrednio za pomocą transmisyjnego mikroskopu elektronowego (Transmission Electron Microscopy TEM). Elektrony przechodzą przez próbkę w tym mikroskopie, więc próbka musi być bardzo cienka. Masa atomowa atomów tworzących próbkę, napięcie, przy którym elektrony są przyspieszane, oraz pożądana rozdzielczość określają grubość próbki. Grubość próbki może wahać się od kilku nanometrów do kilku mikrometrów. Im większa masa atomowa i niższe napięcie, tym cieńsza musi być próbka.
Zmieniając układ soczewek obiektywu, można bezpośrednio powiększyć obraz w ognisku obiektywu. Z tego można uzyskać obrazy dyfrakcji elektronów. Korzystając z tego obrazu, można przeanalizować strukturę krystaliczną próbki.
W transmisyjnej mikroskopii elektronowej z filtrem energii (EFTEM) ludzie mierzą zmiany prędkości elektronów przechodzących przez próbkę. Na tej podstawie można wywnioskować skład chemiczny próbki, na przykład rozkład pierwiastków chemicznych w próbce.
