Ile nanometrów widzi mikroskop konfokalny?
Celem inżynierii materiałowej jest badanie wpływu struktury powierzchni materiału na jego właściwości powierzchniowe. Dlatego analiza topografii powierzchni w wysokiej rozdzielczości jest istotna dla określenia parametrów związanych z chropowatością powierzchni, właściwościami odblaskowymi, właściwościami tribologicznymi i jakością powierzchni. Techniki konfokalne umożliwiają pomiar materiałów o różnych właściwościach odbicia powierzchni i uzyskiwanie skutecznych danych pomiarowych.
Laserowy mikroskop konfokalny, oparty na zasadzie technologii konfokalnej, jest przyrządem kontrolnym do pomiarów w skali mikro i nano na powierzchniach różnych precyzyjnych urządzeń i materiałów. Wysoka rozdzielczość pomiaru sięga 0,5 nm.
Aplikacje
1.MEMY
Pomiary wymiarowe elementów mikronowych i submikronowych, obserwacja morfologii powierzchni po różnych procesach (wywoływanie, trawienie, metalizacja, CVD, PVD, CMP itp.), analiza defektów.
2.Precyzyjne elementy mechaniczne, urządzenia elektroniczne
Pomiar wymiarowy elementów mikronowych i submikronowych, obserwacja morfologii powierzchni po różnych procesach obróbki powierzchni, procesach lutowania, analiza defektów, analiza cząstek.
3. Półprzewodnik/LCD
Obserwacja topografii powierzchni po różnych procesach (wywoływanie, trawienie, metalizacja, CVD, PVD, CMP itp.), analiza defektów Pomiar bezkontaktowych szerokości linii, głębokości stopni itp.
4. Trybologia, korozja i inna inżynieria powierzchni
Pomiar objętości śladów ścierania, pomiar chropowatości, topografii powierzchni, korozji i topografii powierzchni po inżynierii powierzchni submikronowej.
Specyfikacja techniczna
Model: VT6100
Zakres skoku: 100*100*100mm
Zakres pola widzenia: 120×120 µm~1,2×1,2 mm
Powtarzalność pomiaru wysokości (1σ): 12nm
Dokładność pomiaru wysokości: ± (0.2+L/100) μm
Rozdzielczość pomiaru wysokości: 0,5 nm
Powtarzalność pomiaru szerokości (1σ): 40nm
Dokładność pomiaru szerokości: ± 2%
Rozdzielczość pomiaru szerokości: 1 nm
