Wprowadzenie do funkcji skaningowego mikroskopu elektronowego
Skaningowy mikroskop elektronowy (SEM) to duży precyzyjny instrument używany do analizy morfologii mikroobszarów o wysokiej rozdzielczości. Charakteryzuje się dużą głębią ostrości, wysoką rozdzielczością, intuicyjnym obrazowaniem, silnym poczuciem trójwymiarowości, szerokim zakresem powiększeń oraz możliwością obracania i pochylania próbki testowej w przestrzeni trójwymiarowej. Ponadto ma zalety w postaci szerokiej gamy mierzalnych typów próbek, prawie braku uszkodzeń lub zanieczyszczeń oryginalnej próbki oraz możliwości jednoczesnego uzyskania informacji o morfologii, strukturze, składzie i krystalografii. Obecnie skaningowa mikroskopia elektronowa jest szeroko stosowana w badaniach mikroskopowych w takich dziedzinach jak nauki przyrodnicze, fizyka, chemia, sprawiedliwość, nauki o ziemi, inżynieria materiałowa i produkcja przemysłowa. Tylko w dziedzinie nauk o Ziemi obejmuje krystalografię, mineralogię, złoża minerałów, sedymentologię, geochemię, gemologię, mikroskamieniałości, astrogeologię, geologię ropy i gazu, geologię inżynierską i geologię strukturalną.
Chociaż skaningowa mikroskopia elektronowa jest nowością w rodzinie mikroskopów, jej rozwój jest bardzo szybki ze względu na wiele zalet.
Przyrząd ma wysoką rozdzielczość i może obserwować szczegóły o wielkości około 6 nm na powierzchni próbki poprzez obrazowanie elektronów wtórnych. Stosując działo elektronowe LaB6, można go jeszcze ulepszyć do 3 nm.
Instrument posiada szeroki zakres zmian powiększenia i można go regulować w sposób ciągły. Dlatego w razie potrzeby do obserwacji można wybrać różne rozmiary pól widzenia, a wyraźne obrazy o dużej jasności, które są trudne do uzyskania w przypadku ogólnej transmisyjnej mikroskopii elektronowej, można również uzyskać przy dużym powiększeniu.
Głębia ostrości i pole widzenia próbki są duże, a obraz jest bogaty w trójwymiarowy sens. Może bezpośrednio obserwować chropowate powierzchnie z dużymi pofałdowaniami oraz obrazy nierównych pęknięć metalu próbki, dając ludziom poczucie obecności w mikroskopijnym świecie.
Przygotowanie 4 próbek jest proste. Jeśli próbki bloków lub proszku zostaną poddane niewielkiej obróbce lub nie, można je bezpośrednio obserwować pod skaningowym mikroskopem elektronowym, który jest bliższy naturalnemu stanowi substancji.
5. Jakość obrazu można skutecznie kontrolować i poprawiać za pomocą metod elektronicznych, takich jak automatyczne utrzymywanie jasności i kontrastu, korekcja kąta pochylenia próbki, obrót obrazu lub poprawa tolerancji kontrastu obrazu poprzez modulację Y, a także umiarkowanie jasności i ciemności w różne części obrazu. Korzystając z urządzenia o podwójnym powiększeniu lub selektora obrazu, na ekranie fluorescencyjnym można jednocześnie oglądać obrazy o różnych powiększeniach.
6 mogą zostać poddane wszechstronnej analizie. Zainstaluj spektrometr rentgenowski z dyspersją długości fali (WDX) lub spektrometr promieni rentgenowskich z dyspersją energii (EDX), aby mógł działać jako sonda elektronowa i wykrywać emitowane elektrony odbite, promieniowanie rentgenowskie, katodoluminescencję, elektrony transmitowane, elektrony Augera itp. przez próbkę. Rozszerzenie zastosowania skaningowej mikroskopii elektronowej na różne metody analizy mikroskopowej i mikroobszaru wykazało wielofunkcyjność skaningowej mikroskopii elektronowej. Dodatkowo możliwa jest także analiza wybranych mikroobszarów próbki, obserwując obraz morfologiczny; Po zainstalowaniu uchwytu na próbki półprzewodników złącza PN i mikrodefekty w tranzystorach lub układach scalonych można bezpośrednio obserwować za pomocą wzmacniacza obrazu siły elektromotorycznej. Dzięki wdrożeniu elektronicznego, automatycznego i półautomatycznego sterowania dla wielu sond elektronowych skaningowego mikroskopu elektronowego, szybkość analizy ilościowej została znacznie poprawiona.
