Jakie czynniki mają wpływ na rozdzielczość transmisyjnego mikroskopu elektronowego?
A. Średnica plamki padającej wiązki elektronów: granica zdolności rozdzielczej SEM. Ogólnie rzecz biorąc, minimalną średnicę plamki działa elektronowego z gorącą katodą można zmniejszyć do 6 nm, a działo elektronowe z emisją polową może sprawić, że średnica plamki będzie mniejsza niż 3 nm.
B. Efekt rozszerzania padającej wiązki elektronów w próbce: stopień dyfuzji zależy od energii elektronów padającej wiązki elektronów i liczby atomowej próbki. Im wyższa energia padającej wiązki i niższa liczba atomowa próbki, tym większa jest objętość wiązki elektronów, tym większy obszar sygnału generowanego w wyniku dyfuzji wiązki elektronów, co zmniejsza rozdzielczość.
C. metoda obrazowania i zastosowany sygnał modulacyjny: gdy sygnał modulacji elektronów wtórnych, ze względu na jego niską energię (poniżej 50 eV), średni zakres swobodny jest krótki (około 10 ~ 100 nm), tylko w warstwie powierzchniowej w zakresie głębokości 50 ~ 100 nm elektrony wtórne mogą uciec z powierzchni próbki, występowanie liczby rozproszeń jest bardzo ograniczone, w zasadzie nie rozszerzają się na boki, więc rozdzielczość obrazu elektronów wtórnych jest w przybliżeniu równa wiązce średnica plamki. Kiedy jako sygnał modulacyjny wykorzystuje się elektrony rozproszone wstecznie, elektrony rozproszone wstecznie mogą uciec z głębszego obszaru próbki (około 30% efektywnej głębokości) ze względu na ich wysoką energię i zdolność penetracji. W tym zakresie głębokości padające elektrony wykazują dość szeroką ekspansję boczną, więc rozdzielczość obrazu elektronów rozproszonych wstecznie jest niższa niż obrazu elektronów wtórnych, zazwyczaj w zakresie około 500 ~ 2000nm. Jeżeli absorpcja elektronów, promieni rentgenowskich, katodoluminescencja, przewodność lub potencjał wykrywania wiązki jako sygnał modulujący innych trybów pracy, ze względu na sygnał z całego obszaru rozpraszania wiązki elektronów, powstały obraz skaningowy o rozdzielczości jest stosunkowo niski, zazwyczaj w l,000 nm lub l000 nm lub więcej, różnią się.
