Jakie czynniki wpływają na rozdzielczość transmisyjnej mikroskopii elektronowej?
A. Średnica plamki padającej wiązki elektronów: jest to granica zdolności rozdzielczej skaningowego mikroskopu elektronowego. Zasadniczo minimalną średnicę plamki wiązki działa elektronowego z gorącą katodą można zmniejszyć do 6 nm, a działo elektronowe z emisją polową może sprawić, że średnica plamki wiązki będzie mniejsza niż 3 nm.
B. Efekt rozszerzania padającej wiązki elektronów w próbce: stopień dyfuzji zależy od energii padającej wiązki elektronów i liczby atomowej próbki. Im wyższa energia wiązki padającej, tym mniejsza liczba atomowa próbki, tym większa objętość wiązki elektronów, a obszar, w którym generowany jest sygnał, zwiększa się wraz z dyfuzją wiązki elektronów, zmniejszając w ten sposób rozdzielczość.
C. Metoda obrazowania i zastosowany sygnał modulacji: gdy elektron wtórny jest używany jako sygnał modulacji, ze względu na jego niską energię (poniżej 50 eV) i krótką średnią drogę swobodną (około 10-100 nm), tylko warstwa powierzchniowa 50-100 nm Elektrony wtórne w zakresie głębokości mogą uciec tylko z powierzchni próbki, a liczba występujących rozpraszań jest bardzo ograniczona iw zasadzie nie rozszerza się na boki. Dlatego rozdzielczość obrazu elektronu wtórnego jest w przybliżeniu równa średnicy plamki wiązki. Kiedy elektrony wstecznie rozproszone są używane jako sygnał modulacyjny, energia elektronów wstecznie rozproszonych jest stosunkowo wysoka, a zdolność penetracji jest duża, więc mogą one uciec z głębszego obszaru próbki (około 30 procent efektywnej głębokości). W tym zakresie głębokości padające elektrony mają dość szeroką ekspansję boczną, więc rozdzielczość obrazu elektronów wstecznie rozproszonych jest niższa niż obrazu elektronów wtórnych, na ogół około 500-2000 nm. W przypadku zastosowania innych trybów pracy, takich jak absorpcja elektronów, promieniowanie rentgenowskie, katodofluorescencja, przewodnictwo lub potencjał indukowany wiązką jako sygnały modulacyjne, ponieważ sygnały pochodzą z całego obszaru rozpraszania wiązki elektronów, rozdzielczość uzyskiwanych obrazów skanujących jest stosunkowo niska , ogólnie przy l 000 nm Lub powyżej l0000 nm.
