Zalety skaningowego mikroskopu elektronowego
1. Współczynnik powiększenia
Ze względu na stałą wielkość ekranu fluorescencyjnego skaningowego mikroskopu elektronowego zmianę powiększenia uzyskuje się poprzez zmianę amplitudy skanowania wiązki elektronów na powierzchni próbki.
Jeśli prąd cewki skanującej zostanie zmniejszony, amplituda skanowania wiązki elektronów na próbce zmniejszy się, a współczynnik wzmocnienia wzrośnie. Regulacja jest bardzo wygodna i można ją regulować w sposób ciągły od 20x do około 200 000 razy.
2. Rozdzielczość
Rozdzielczość jest głównym wskaźnikiem wydajności skaningowej mikroskopii elektronowej.
Rozdzielczość zależy od średnicy padającej wiązki elektronów i rodzaju sygnału modulującego. Współwyznaczanie:
Im mniejsza średnica wiązki elektronów, tym wyższa rozdzielczość.
Sygnały fizyczne używane do obrazowania różnią się rozdzielczością.
Na przykład elektrony SE i BE mają różne zakresy emisji i rozdzielczości na powierzchni próbki. Rozdzielczość SE wynosi zazwyczaj około 5-10nm, podczas gdy rozdzielczość BE wynosi około 50-200nm.
3. Głębia ostrości
Odnosi się do zakresu zdolności obiektywu do jednoczesnego ogniskowania i obrazowania różnych części nierównej próbki.
Ostatnia soczewka skaningowego mikroskopu elektronowego wykorzystuje małą aperturę kątową i długą ogniskową, dzięki czemu można uzyskać dużą głębię ostrości. Jest ona 100-500 razy większa niż głębia ostrości ogólnego mikroskopu optycznego i 10 razy większa niż głębia pola transmisyjnego mikroskopu elektronowego.
Najważniejszymi cechami SEM są duża głębia ostrości, silny zmysł trójwymiarowości i realistyczna morfologia.
Próbki używane do skaningowej mikroskopii elektronowej dzielą się na dwie kategorie:
1 to próbka o dobrej przewodności, która ogólnie może zachować swój pierwotny kształt i można ją obserwować pod mikroskopem elektronowym bez czyszczenia lub z niewielkim czyszczeniem;
2 to próbka nieprzewodząca lub próbka, w przypadku której nastąpiła utrata wody, uwolnienie gazu lub odkształcenie skurczowe w próżni, którą należy odpowiednio poddać obróbce przed rozpoczęciem obserwacji.
