Oddziaływanie elektronów z materią jest podstawą produkcji skaningowych mikroskopów elektronowych. Elektrony wtórne, elektrony Augera, charakterystyczne promienie rentgenowskie i kontinuum rentgenowskie, elektrony wstecznie rozproszone, elektrony przechodzące i promieniowanie elektromagnetyczne w zakresie widzialnym, ultrafioletowym i podczerwonym są wytwarzane, gdy wiązka wysokoenergetycznych padających elektronów bombarduje powierzchnię materiał. Wibracje sieci (fonony), oscylacje elektronów (plazmy) i pary elektron-dziura mogą być wytwarzane w tym samym czasie. Teoretycznie kilka właściwości fizycznych i chemicznych samej próbki, w tym jej kształt, skład, strukturę krystaliczną, strukturę elektronową oraz wewnętrzne pola elektryczne lub magnetyczne, można określić, wykorzystując oddziaływanie między elektronami a materią.
W celu wytworzenia wiązki elektronów o określonej energii, natężeniu i średnicy plamki na powierzchni próbki, działo elektronowe emituje wiązkę elektronów o energii do 30 keV, która jest następnie redukowana i skupiana przez soczewkę skupiającą i soczewkę obiektywu . Padająca wiązka elektronów będzie rasterować punkt po punkcie powierzchnię próbki pod wpływem pola magnetycznego cewki skanującej w określonym czasie i przestrzeni. Elektrony wtórne są wzbudzane z elektroniki próbki w wyniku kontaktu padającego elektronu z powierzchnią próbki. Funkcja wtórnego kolektora elektronów umożliwia wychwytywanie elektronów wtórnych emitowanych we wszystkich kierunkach.
a następnie napędzany przez elektrodę przyspieszającą do scyntylatora w celu konwersji na sygnał optyczny, przed przejściem w dół światłowodu do lampy fotopowielacza, aby przejść kolejną konwersję sygnału optycznego. do przesyłania sygnałów elektrycznych. Wzmacniacz wideo wzmacnia ten sygnał elektryczny, który jest następnie dostarczany do siatki kineskopu, aby regulować jego jasność i wyświetlać obraz elektronów wtórnych odzwierciedlający fluktuację powierzchni próbki na ekranie fluorescencyjnym.
Proces obrazowania stosowany w obrazowaniu TEM, który wykorzystuje obrazowanie soczewki magnetycznej i jest zakończony od razu, jest zupełnie inny.
Elektronowy układ optyczny, system skanowania, system wykrywania sygnału, system wyświetlania, zasilanie i system próżniowy stanowią większość skaningowego mikroskopu elektronowego. Grafika przedstawia schematyczne przedstawienie jego konstrukcji. W testach adhezyjnych najczęściej wykorzystuje się skaningową mikroskopię elektronową.
