Zastosowania mikroskopów konfokalnych w przemyśle półprzewodników
W procesie-produkcji półprzewodników na dużą skalę konieczne jest osadzenie chipów układów scalonych na płytce, następnie podzielenie ich na różne jednostki, a na koniec zapakowanie i zlutowanie. Dlatego precyzyjna kontrola i pomiar wielkości rowka do cięcia wafli jest kluczowym ogniwem w procesie produkcyjnym.
Mikroskop konfokalny serii VT6000 to mikroskopijny sprzęt kontrolny wprowadzony na rynek przez Zhongtu Instrument, szeroko stosowany w procesach produkcji i pakowania półprzewodników. Może wykonywać-bezkontaktowe skanowanie i rekonstruować-trójwymiarową morfologię cech powierzchni o skomplikowanych kształtach i stromych rowkach wycinanych laserem.
Mikroskop konfokalny serii VT6000 charakteryzuje się doskonałą rozdzielczością optyczną i może szczegółowo obserwować charakterystykę powierzchni płytki za pomocą przejrzystego systemu obrazowania, na przykład obserwując, czy na powierzchni płytki występują defekty, takie jak pęknięcia krawędzi i zadrapania. Wieża elektryczna może automatycznie przełączać się między różnymi powiększeniami obiektywu, a oprogramowanie automatycznie przechwytuje krawędzie obiektów w celu szybkiego dwu-wymiarowego pomiaru rozmiaru, dzięki czemu skuteczniej wykrywa i kontroluje jakość powierzchni płytki.
W procesie cięcia laserowego wafli wymagane jest precyzyjne pozycjonowanie, aby zapewnić możliwość wycięcia rowków wzdłuż prawidłowego konturu na waflu. Jakość segmentacji płytki mierzy się zwykle głębokością i szerokością rowków tnących. Mikroskop konfokalny serii VT6000, oparty na technologii konfokalnej i wyposażony w-szybkie moduły skanujące, posiada profesjonalne oprogramowanie analityczne z funkcjami wieloobszarowymi i automatycznymi pomiarami. Może szybko zrekonstruować-trójwymiarowy kontur rowka laserowego badanej płytki i przeprowadzić analizę wielu profili w celu uzyskania informacji o głębokości i szerokości kanału- przekroju poprzecznego.
