Zastosowanie mikroskopu na podczerwień w mikrourządzeniach w przemyśle elektronicznym
1. Kierunek zastosowania: rola mikroskopu na podczerwień w badaniach temperaturowych maleńkich przyrządów półprzewodnikowych
2. Wprowadzenie w tle:
Wraz z rozwojem nanotechnologii jej metoda miniaturyzacji odgórnej była coraz częściej stosowana w dziedzinie technologii półprzewodników. Technologię układów scalonych nazywaliśmy technologią „mikroelektroniki”, ponieważ wielkość tranzystorów jest na poziomie mikrona (10-6 metra). Jednak technologia półprzewodnikowa rozwija się bardzo szybko. Co dwa lata jedna generacja zostanie ulepszona, a rozmiar zostanie zmniejszony do połowy pierwotnego rozmiaru. To słynne prawo Moore'a. Około 15 lat temu półprzewodniki zaczęły wkraczać w erę submikronową, która jest mniejsza niż era mikronowa, a następnie weszły głębiej w erę submikronową, która była znacznie mniejsza niż era mikronowa. Do 20}01 roku tranzystory były nawet mniejsze niż 0,1 mikrona, czyli 100 nanometrów. Dlatego jest to era nanoelektroniki, a większość przyszłych układów scalonych będzie wykonana z nanotechnologii.
3. Wymagania techniczne:
Obecnie główną przyczyną awarii urządzeń elektronicznych jest awaria termiczna. Według statystyk 55 procent awarii urządzeń elektronicznych spowodowanych jest przez temperaturę przekraczającą określoną wartość. Wraz ze wzrostem temperatury awaryjność urządzeń elektronicznych rośnie wykładniczo. Ogólnie rzecz biorąc, niezawodność działania elementów elektronicznych jest niezwykle wrażliwa na temperaturę, a niezawodność spadnie o 5 procent za każdym razem, gdy temperatura urządzenia wzrośnie o 1 stopień na poziomie 70-80 stopni. Dlatego konieczne jest szybkie i niezawodne wykrywanie temperatury urządzenia. Ponieważ rozmiary urządzeń półprzewodnikowych stają się coraz mniejsze, stawiane są coraz wyższe wymagania dotyczące rozdzielczości temperaturowej i przestrzennej sprzętu detekcyjnego.
4. Mapa cieplna fotografowania na miejscu
